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반도체 해부도

칩 한 개와 그 안의 메모리 셀, 디스플레이 패널, 그리고 그것을 만드는 공장을 단면으로 잘라, 각 부분이 무엇이고 · 어느 회사가 만들고 · 어떤 직무가 담당하고 · 백과의 어느 파트를 읽어야 하는지를 붙여 놓은 지도. 백과 본문보다 먼저 읽는 페이지다.

유통기한이 다른 두 종류의 정보가 섞여 있다. 구조(인터포저가 왜 필요한가, 팹이 왜 그렇게 생겼는가)와 장비사의 담당 영역은 수년 단위로 안정적이다. 반면 세대·점유율·협력 관계·채용 직무명은 분기 단위로 바뀐다. 후자는 2026년 8월 기준으로 출처와 함께 적었고, 시점을 괄호로 붙였다 — 인용할 때 그 시점을 함께 옮길 것. 확인하지 못한 항목은 미확인으로 표시했다.
I

칩과 그 주변

AI 가속기 한 장을 세로로 자른 단면이다. 아래에서 위로 전원이 올라오고, 옆으로 신호가 오가며, 위로 이 빠져나간다. 이 세 경로가 패키지 구조를 거의 다 설명한다 — 인터포저가 존재하는 이유는 HBM과 로직 다이 사이의 수천 개 배선을 일반 기판으로는 뺄 수 없기 때문이고, TSV가 존재하는 이유는 그 배선과 전원이 다이를 관통해야 하기 때문이다.

히트스프레더 (IHS) · 리드 14 TIM (열계면 소재) 13 HBM 코어 다이 코어 다이 코어 다이 코어 다이 (8~12단) 8 베이스 다이 (로직) 9 TSV로 관통 (6) 로직 다이 (SoC · GPU · AP) 10 PHY 11 메모리 컨트롤러 (12) 연산 코어 캐시 ↓ 다이 내부는 그림 2 · 메모리 셀은 그림 5~7 마이크로 범프 / 하이브리드 본딩 (7) 실리콘 인터포저 5 1024-bit × 스택 수 미세 RDL + TSV (6) C4 범프 (4) 패키지 기판 (FC-BGA · 빌드업 다층) 3 BGA 솔더볼 (2) 시스템 PCB (메인보드) · 전원 모듈 · 커넥터 1 전원 (PDN) 전원 ↑ · 신호 ↔ · 열 ↑ — 이 세 경로가 패키지 구조를 결정한다
그림 1. HBM을 쓰는 가속기 패키지의 세로 단면. 인터포저(5)가 없으면 HBM과 로직 다이 사이의 수천 개 배선을 기판(3)의 배선 밀도로는 감당할 수 없다. 베이스 다이(9)는 코어 다이들을 대신해 외부와 통신하는 로직 층이고, 그래서 메모리가 아니라 로직 공정으로 만든다. 괄호 안 숫자는 아래 목록의 항목 번호.

패키지 구성 요소 — 회사 · 직무 · 읽을 파트

01

시스템 PCB · 전원 모듈

칩에 전원을 넣고 신호를 밖으로 빼는 판. 수백 암페어를 흔들림 없이 공급하는 것이 요즘의 난제다.

회사 이수페타시스 · 삼성전기 · LG이노텍 · Ibiden · AT&S · Unimicron

직무 기판 설계 · SI/PI 엔지니어 · 하드웨어 설계

공부 2.8 전자기파21.9 타이밍과 전력21.10 소자 파라미터에 대한 회로 성능의 민감도

02

BGA 솔더볼

패키지를 보드에 붙이는 납땜 볼. 열팽창 계수 차이로 반복 응력을 받아 수명이 결정된다.

회사 Amkor · ASE · JCET · 하나마이크론 (OSAT)

직무 패키지 공정기술 · 신뢰성 평가

공부 8.8 기계적 성질18.29 패키지 소재와 최종 테스트19.14 신뢰성

03

패키지 기판 (FC-BGA)

유기 빌드업 다층 기판. 인터포저보다 배선이 굵어 고밀도 연결은 못 하지만, 전원과 저속 신호를 보드까지 내린다. 고다층 FC-BGA는 공급이 빠듯한 품목이다.

회사 상위 5개사가 세계 ABF 기판 생산능력의 85% 이상 — Ibiden(JP) · Unimicron(TW) · AT&S(AT) · 삼성전기(KR) · Shinko(JP). 국내는 삼성전기가 1군, LG이노텍이 후발 진입, 대덕전자 · 심텍은 메모리·모듈 쪽.

메모 기판 자체보다 소재가 병목이다 — 빌드업 유전체 필름(ABF)은 아지노모토가 사실상 독점(약 95%)한다.

직무 기판 개발 · 패키지 개발

공부 4.7 분자간 상호작용과 고분자18.22 금속 배선18.29 패키지 소재와 최종 테스트

04

C4 범프

인터포저를 기판에 붙이는 중간 크기 범프. 위쪽 마이크로 범프와 아래쪽 솔더볼 사이의 피치를 이어준다.

회사 TSMC · 삼성전자 · Amkor · ASE

직무 패키지 공정기술

공부 9.12 박막에서의 확산과 반응18.25 조립과 상호연결

05

실리콘 인터포저 (2.5D)

HBM과 로직 다이를 잇는 초미세 배선판. 이 페이지에서 가장 중요한 부품이다 — 유기 기판의 배선 밀도로는 HBM의 1024-bit(HBM4는 2048-bit) 폭을 스택 수만큼 통과시킬 수 없어서 실리콘 위에 배선을 그린 판을 끼워 넣는다. 다만 인터포저는 기판을 대체하지 않는다 — 어느 방식이든 맨 아래에는 여전히 유기 FC-BGA 기판이 깔린다.

세 가지 방식이 등급별로 공존한다. TSMC 기준 CoWoS-S는 실리콘 인터포저(레티클 3.3배까지), CoWoS-R는 TSV 없는 RDL 인터포저(2023년~), CoWoS-L은 몰드 인터포저에 국소 실리콘 브리지를 심은 방식(레티클 3.5배 이상, 2024년~)으로 현재 최상급 AI 가속기가 쓰는 것이 CoWoS-L이다. 단일 실리콘 인터포저가 레티클 3.3배에서 막히기 때문이다.

회사 TSMC(CoWoS-S/R/L) · 삼성전자(2.5D Cube-S · 2.3D Cube-E · 2.3D Cube-R — 구 I-Cube/H-Cube에서 개명) · Intel(EMIB · 브리지에 TSV를 넣은 EMIB-T가 2026년 팹 적용) · 조립 Amkor · ASE

직무 패키지 개발 · 패키지 공정기술 · 후공정 설비기술

공부 15.12 고대역폭 메모리18.27 2.xD·3D 집적9.11 박막의 응력과 접착

06

TSV (실리콘 관통 전극)

다이나 인터포저를 위아래로 관통하는 구리 기둥. 고종횡비 식각 → 절연막 → 배리어/시드 → 전해도금 → CMP 순으로 만든다. 18부 공정 장의 여러 절이 여기서 한꺼번에 쓰인다.

장비 Lam Research · TEL · Applied Materials (식각·증착·도금·CMP)

직무 공정기술(식각·박막·CMP) · 패키지 공정기술

공부 18.18 건식 식각18.12 ALD18.22 금속 배선18.19 CMP와 평탄화

07

마이크로 범프 · 하이브리드 본딩

다이를 붙이는 접합. 피치를 더 줄이려면 범프를 없애고 구리–구리를 직접 붙이는 하이브리드 본딩으로 간다 — 다만 이걸 오해하기 쉽다.

하이브리드 본딩은 아직 HBM에 안 쓰인다. 로직에서는 이미 양산 중이지만(TSMC SoIC — AMD 3D V-Cache, Intel Foveros Direct — Clearwater Forest 18A), HBM은 여전히 MR-MUF(SK하이닉스)와 TC-NCF(삼성)로 붙인다. SK하이닉스는 2026년 8월 Hot Chips에서 HBM4E까지도 하이브리드 본딩을 쓰지 않는다고 못박았고, HBM5(2029~30년경)를 빨라야 적용 시점으로 봤다. JEDEC의 775 µm 패키지 높이 제한이 걸림돌이다.

회사 TC 본더 한미반도체 71.2% · 세메스 13.1% · 한화세미텍 3.2%(TechInsights, 2025 Q3) · 하이브리드 본더 BESI · ASMPT · EVG · SUSS

메모 한화세미텍이 SK하이닉스 HBM4 TC 본더를 수주(2026.06). 삼성은 자회사 세메스를 통해 조달하므로 한미의 진입로가 좁다.

직무 패키지 공정기술 · 후공정 설비기술

공부 9.2 표면 장력과 젖음9.12 박막에서의 확산과 반응18.25 조립과 상호연결

08

HBM 코어 다이

DRAM 셀이 들어 있는 층. 8~12단을 쌓고 TSV로 관통한다. 얇게 갈수록 더 쌓을 수 있어 백그라인딩과 휨 제어가 핵심이 된다. 16단은 웨이퍼를 30 µm까지 갈아 775 µm 높이 제한 안에 넣는 싸움이다.

2026년의 주력은 아직 HBM3E다. SK하이닉스 자체 전망 기준 2026년 HBM 출하의 약 2/3가 HBM3E이고 HBM4가 그 위로 올라오는 중이다 — HBM4가 이미 시장을 채웠다고 오해하기 쉽다. HBM4는 SK하이닉스(2025.09 개발 완료, 2026.01 양산 확인)와 삼성(2026.03 GTC 양산 발표), 마이크론 모두 진입했고, 세 회사가 처음부터 함께 인증된 첫 세대다.

회사 SK하이닉스 · 삼성전자 · Micron — 점유율 SK하이닉스 62% · Micron 21% · 삼성 17%(Counterpoint, 2025 Q2)

직무 공정기술 · 소자(TD) · 수율 · 패키지

공부 15.3 DRAM 셀과 동작15.4 DRAM 어레이와 주변 회로15.12 고대역폭 메모리

09

베이스 다이 (로직)

스택 맨 아래에서 코어 다이들을 대신해 외부와 통신하는 층. TSV를 팬아웃하고, 호스트 쪽 인터페이스와 테스트 로직(DFT/BIST), 전력 관리를 담고 있다. 예전에는 DRAM 공정으로 만들었지만 HBM4의 2048-bit 인터페이스부터는 진짜 로직 다이가 되어 파운드리 공정으로 넘어갔다 — 베이스 다이 커스터마이징이 사업이 된 이유다.

회사 TSMC가 HBM4 베이스 다이를 N12FFC+(저가)와 N5(고성능)로 제공한다고 발표(2024.05). SK하이닉스는 TSMC 로직 공정 위탁으로 보도됨(12nm급 — 1차 자료로는 미확인). 삼성전자는 SF4 4nm로 전량 자체 생산. Micron은 HBM4는 자체, HBM4E부터 TSMC 위탁(2027 목표).

직무 소자(TD) · 설계 · 공정기술

공부 15.12 고대역폭 메모리15.13 메모리 중심 아키텍처21.10 소자 파라미터에 대한 회로 성능의 민감도

10

로직 다이 (SoC · GPU · AP)

연산이 실제로 일어나는 칩. 선단 공정(FinFET · GAA)이 쓰이는 곳이고, 백과 13·14부가 통째로 이 다이의 트랜지스터를 다룬다.

회사 설계 NVIDIA · AMD · Apple · Qualcomm · 삼성 시스템LSI · 제조 TSMC · 삼성 파운드리 · Intel

직무 소자(TD) · 공정기술 · 수율 · 회로 설계 · PD

공부 13부 MOS 커패시터와 MOSFET 기초14부 미세 MOSFET과 스케일링18.23 통합 공정 흐름

11

PHY (물리 계층)

다이 가장자리에서 실제로 전기 신호를 밀고 받는 아날로그 회로 블록. 인터포저 배선의 손실과 반사를 이겨야 해서 전자기학과 전송선 이론이 그대로 쓰인다. HBM은 PHY가 두 다이에 나뉘어 있다 — 호스트 쪽 PHY는 로직 다이(또는 별도 I/O 다이) 가장자리에, 메모리 쪽 인터페이스는 베이스 다이에 있다. HBM4의 2048-bit 때문에 다이 가장자리 확보가 플로어플랜의 1차 제약이 됐다.

회사 IP Synopsys · Cadence · Rambus · Alphawave — Rambus는 HBM4E 컨트롤러 IP 발표(2026.03, 16 Gbps/pin · 4.1 TB/s)

직무 아날로그·혼성신호 설계 · SI/PI

공부 2.8 전자기파14.6 기생 요소와 고주파 특성21.9 타이밍과 전력

12

메모리 컨트롤러

읽기·쓰기 요청의 순서를 정하고 리프레시를 관리하는 디지털 블록. 별도 칩이 아니라 로직 다이 안에 들어간다 — 이걸 착각하는 사람이 많다. 다만 칩렛 설계에서는 컨트롤러와 PHY를 별도 I/O 다이로 떼어 저렴한 노드에 올리는 것이 일반적이다(AMD의 IOD 방식) — 아날로그 I/O는 미세화 이득이 거의 없기 때문이다.

회사 IP Synopsys · Cadence · Rambus · 자체 설계 NVIDIA · AMD · Apple

직무 디지털 설계(RTL) · 검증 · 아키텍처

공부 15.4 DRAM 어레이와 주변 회로21.3 순차 논리21.17 디지털 시스템 개요

13

TIM (열계면 소재)

다이와 히트스프레더 사이의 미세한 틈을 메워 열을 넘기는 물질. 여기서 막히면 위쪽 냉각을 아무리 키워도 소용없다.

회사 Henkel · Shin-Etsu · Dow 등 소재사

직무 패키지 개발 · 열 설계

공부 3.7 열역학과 열전달8.13 열적·자기적 성질

14

히트스프레더 · 냉각

열을 넓게 펴서 히트싱크나 냉각수로 넘기는 금속 뚜껑. 요즘 가속기의 실질적 성능 한계는 이 경로의 열저항이 정한다.

회사 패키지사 · 냉각 솔루션 업체

직무 열 설계 · 패키지 개발 · 시스템 엔지니어

공부 3.7 열역학과 열전달14.8 스케일링 이론23.6 AI 반도체

한 칸 더 들어가면 — 로직 다이 내부

마이크로 범프 → 인터포저로 패시베이션 · 패드 BEOL Cu 다마신 · low-k 10~15층 위로 갈수록 배선이 굵어진다 (전원 · 클럭) 컨택 플러그 MOL 컨택 · 실리사이드 게이트 S D 게이트 S D STI STI high-k + 메탈 게이트 · 스페이서 · SiGe 스트레서 · 실리사이드 FEOL 트랜지스터 n-well p-well 실리콘 기판 기판 공정 순서는 아래에서 위로 — 기판 → FEOL → MOL → BEOL → 패드
그림 2. 로직 다이 내부. 공정은 아래에서 위로 진행되며, 이 순서가 곧 18부의 장 순서다 — 웨이퍼 제조(18.3) → 소자 분리(18.19) → 게이트와 소스/드레인(18.22) → 컨택과 실리사이드(18.20) → 금속 배선(18.21). 열이 많이 드는 공정일수록 아래쪽에 몰려 있는데(열예산), BEOL의 low-k 유전체가 고온을 못 견디기 때문이다.

한 칸 옆으로 — 나란히 놓을 것인가, 위로 쌓을 것인가

그림 1의 패키지는 HBM과 로직 다이를 인터포저 위에 나란히 놓았다. 이것이 2.5D다. 다이를 아예 다른 다이 위에 직접 올리면 3D가 되고, 흔히 Chip on Chip이라 부른다. 둘의 차이는 배치가 아니라 배선 밀도와 열 경로에 있다.

2.5D — 나란히 히트스프레더 다이 A 다이 B 둘 다 뚜껑에 직접 닿는다 인터포저 약 1,000~1,600 배선/mm² 패키지 기판 열은 쉽다 — 모든 다이가 위로 바로 뺀다 면적은 다이 수만큼 늘어난다 CoWoS · EMIB · 2.5D Cube-S 이름에 “chip-on-wafer”가 들어가도 CoWoS는 2.5D다 — 가장 흔한 오해 3D — 위로 히트스프레더 다이 A (위) 다이 B (아래) 1만 배선/mm² 이상 아래 다이의 열이 위 다이를 통과해야 밖으로 나간다 패키지 기판 (또는 인터포저) 배선은 10배 조밀하다 — 짧고 에너지도 덜 든다 대신 열이 갇힌다 SoIC · Foveros Direct · 3D Cube-T/H AMD는 V-Cache 2세대에서 캐시 다이를 코어 아래로 내려 이 문제를 풀었다
그림 3. 같은 부품, 다른 배치. 3D는 배선을 10배 가까이 조밀하게 만들 수 있는 대신 아래 다이의 열이 위 다이를 통과해야 한다. AMD 3D V-Cache가 이 교훈의 교과서적 사례다 — 1세대는 캐시 다이를 코어 에 올려 클럭과 전압을 제한해야 했고, 2세대는 같은 접합 기술로 캐시를 코어 아래로 내려 그 제약을 없앴다. 실리콘도 접합도 같고 순서만 바꿨다.
마이크로 범프 (열압착) 위 다이 언더필 아래 다이 피치 30~35 µm 솔더가 있어 간격이 생기고, 그 틈을 언더필로 메워야 한다. 범프가 눌려 퍼지므로 더는 못 좁힌다. TSMC SoIC-P(18~25 µm) · 삼성 3D Cube-T · HBM 구리 하이브리드 본딩 위 다이 아래 다이 Cu–Cu 피치 6~9 µm 솔더도 언더필도 없다 — 절연막끼리, 구리끼리 직접 붙는다. 간격이 0이라 열도 잘 빠진다. 밀도는 피치의 제곱으로 늘어난다 (30→9 µm ≈ 11배) TSMC SoIC-X · Intel Foveros Direct · 삼성 3D Cube-H
그림 4. 접합 방식이 피치를 정하고, 피치가 가능한 설계를 정한다. 하이브리드 본딩은 기계적 결합과 전기적 연결이 같은 면에서 일어나므로 범프 높이도 언더필도 필요 없다. 대신 요구 조건이 가혹하다 — CMP 디싱 5 nm 이하, 표면 거칠기 0.5 nm RMS 수준, N₂ 플라즈마 활성화와 초순수 세정, 서브미크론 입자 하나가 밀리미터 단위 보이드를 만드는 청정도, D2W 정렬 ±100 nm, 약 350 °C 어닐. 19부의 계측과 18.19 CMP가 왜 중요한지가 여기서 한꺼번에 설명된다.

3D 적층 — 회사 · 직무 · 읽을 파트

S1

용어 정리 — 자주 틀리는 것들

조립 흐름적층 방향은 서로 다른 축인데 섞어 쓰는 일이 많다.

흐름 W2W(웨이퍼끼리 붙이고 자름 — 정렬 50 nm 이하까지 가능하지만 양품 선별이 불가해 수율이 곱해진다) · D2W(=CoW)(양품 다이만 골라 웨이퍼에 붙임 — 정렬은 ±100 nm로 나쁘지만 선별이 되어 로직 3D의 표준) · D2D(칩끼리 — 아키텍처 문맥에서는 UCIe 같은 인터페이스를 뜻하기도 하므로 어느 뜻인지 밝혀야 한다)

방향 F2F(두 다이의 최상단 배선끼리 마주봄 — 약 14,000 신호/mm², TSV 불필요) · F2B(한쪽 뒷면에 붙임 — TSV를 반드시 거쳐야 해 약 1,500 신호/mm², 3층 이상 쌓으려면 필수)

공부 18.28 하이브리드 본딩15.12 고대역폭 메모리

S2

하이브리드 본딩 공정

표면을 원자 수준으로 평탄하고 깨끗하게 만든 뒤 맞붙이고 어닐하는 공정. CMP·세정·계측이 곧 수율이 되는 대표 사례다. 어닐 온도(약 350 °C)를 낮추는 것이 연구 축이고, 나노트윈 구리를 쓰면 200 °C 수준까지 내려간다.

장비 BESI(D2W 사실상 표준, 대당 50~60억 원) · Applied Materials(공정 통합) · EVG(W2W 정렬) · SUSS · TEL · ASMPT

국내 한화세미텍 SHB2 Nano(정렬 ±100 nm, 2026.02 발표, SK하이닉스 평가용 공급) · 세메스 D2W 하이브리드 본더 개발 완료·공급 계약(2026.02 보도) — 한국은 TC 본딩에서는 강하지만 하이브리드에서는 1~2년 뒤다.

직무 패키지 공정기술 · 설비기술 · 계측·분석

공부 18.19 CMP와 평탄화18.4 세정과 게터링9.11 박막의 응력과 접착19.7 결함 검사

S3

실제로 쌓고 있는 제품

3D는 개념이 아니라 이미 양산 중이다. 다만 메모리를 로직 위에 올린 제품은 아직 없다 — HBM도 로직 다이 옆에 있는 2.5D 구성이다.

로직 TSMC SoIC-X(3 nm 적층 2025년 양산, 현재 6 µm 인증, 2029년 4.5 µm 목표) · AMD 3D V-Cache(9 µm) · Intel Foveros Direct(10 µm 미만, Clearwater Forest 18A로 2026.06 출시 — 컴퓨트 타일 12개를 능동 베이스 타일 3개 위에 접합)

메모리 3D NAND 주변회로 W2W 본딩이 양산 중 — YMTC Xtacking · Kioxia CBA, 삼성도 V10 BV-NAND(400단대, 2026.08)로 합류. Micron · SK하이닉스는 CuA/PUC 모놀리식 방식.

주의 SoIC-P는 같은 브랜드지만 마이크로 범프다(18~25 µm). 삼성 SAINT은 2023~24년 명칭으로 현재 자료에는 3D Cube-T/H가 쓰인다.

공부 14.9 3차원 트랜지스터15.9 3D NAND18.28 하이브리드 본딩

S4

3D의 두 가지 벽 — 열과 수율

— 아래 다이의 열이 위 다이를 통과해야 하고 핫스팟이 겹친다. 대응은 다이 순서 최적화(뜨거운 다이를 위로), 열 TSV와 더미 구리 패드를 방열로 쓰기, 백사이드 전력 공급으로 전원 배선을 열 경로에서 빼기 정도다.

수율 — N층을 쌓으면 수율이 곱해진다. 95% 다이 4장이면 접합 전에 이미 81%다. W2W는 선별이 불가능해 CIS와 NAND 주변회로처럼 다이가 작고 수율이 높은 곳에만 쓴다. 게다가 웨이퍼 프로빙이 본딩면을 오염시켜 “테스트 후 적층”이라는 통상적 흐름과 충돌한다 — SK하이닉스가 HBM4에서 하이브리드 본딩을 미룬 이유 중 하나다.

직무 패키지 개발 · 수율 · 소자 · 열 설계

공부 3.7 열역학과 열전달19.10 수율 모델링19.14 신뢰성14.8 스케일링 이론

II

메모리 셀

그림 2에서 한 칸 더 들어간 층. 로직 다이의 트랜지스터가 스위치라면 메모리 셀은 저장 장치이고, 무엇으로 저장하느냐가 DRAM과 NAND의 모든 차이를 만든다 — DRAM은 커패시터에 전하를 담아두고, NAND는 절연막 안에 전하를 가둬버린다. 담아둔 것은 새기 때문에 주기적으로 다시 채워야 하고(리프레시), 가둔 것은 전원을 꺼도 남는다(비휘발성).

플레이트 전극 (모든 셀이 공유) 커패시터 커패시터 종횡비 100:1 이상 면적이 줄어도 정전용량 ≈ 10 fF를 지켜야 해서 깊게 판다 파선 = high-k 유전막 (ZrO₂ · Al₂O₃) 누설 → 리프레시 스토리지 노드 컨택 비트라인 (BL) 비트라인 컨택 — 두 셀이 공유 WL WL 실리콘 기판 · 매몰 워드라인(WL)이 트렌치 안에 들어가 있다 센스 앰프 전하 공유로 읽는다 셀 하나 = 6F² 1T1C — 트랜지스터 하나 + 커패시터 하나
그림 5. DRAM 셀 단면. 트랜지스터는 커패시터로 가는 문일 뿐이고 정보는 커패시터의 전하로 저장된다. 읽으면 전하가 비트라인으로 흘러 나가버리므로(파괴 읽기) 읽은 뒤 다시 써 넣어야 하고, 가만히 두어도 새기 때문에 수십 ms마다 리프레시한다. 셀 면적이 줄어도 정전용량은 줄일 수 없다 — 그래서 커패시터가 옆으로 못 넓히고 위로만 자란다.
비트라인 스트링 선택 (SSL) 워드라인 플레이트 한 층 = 셀 한 개 실제로는 200~400단 여기서는 10단만 그렸다 그라운드 선택 (GSL) 공통 소스라인 채널 홀 계단 컨택 층마다 워드라인을 위로 뽑아낸다 주변 회로 — 셀 하부 배치(CuA · PUC) 또는 별도 웨이퍼를 만들어 본딩 채널 홀 하나로 전 층을 관통한다 — 300단이면 종횡비 100:1을 넘는다 블로킹 산화막 전하 트랩 질화막 터널 산화막 폴리 채널 코어 필 채널 홀 단면 (위에서 본 모습) 폴리 채널 터널 산화막 질화막 블로킹 워드라인 FN 터널링으로 질화막에 전하를 가둔다 가둔 전하가 그 셀의 문턱 전압을 올린다 전원을 꺼도 남는다 → 비휘발성 셀 하나의 동작
그림 6. 3D NAND 스트링. 워드라인은 웨이퍼 전면에 깔린 판이고, 그 판들을 수직으로 뚫은 채널 홀 하나가 스트링 하나가 된다 — 판과 홀이 만나는 지점마다 셀이 하나씩 생긴다. 전하를 부유 게이트가 아니라 절연막(질화막) 안의 트랩에 가두므로 층을 얇게 만들 수 있고, 그래서 수직 적층이 가능해졌다. DRAM처럼 셀마다 커패시터를 세울 필요가 없다는 점이 결정적이다.
DRAM — 위로 팔 수밖에 없다 ≈ 10 fF 예전 세대 ≈ 10 fF 미세화 이후 면적 ↓ 높이 ↑ 셀마다 트랜지스터 + 커패시터가 평면을 차지한다 정전용량을 못 줄이니 종횡비로 버틴다 — 이것이 DRAM 미세화의 벽 3D NAND — 층을 얹으면 된다 4단 9단 층 추가 = 셀 추가 바닥 면적도, 마스크 수도 그대로다 — 미세화 없이 용량을 늘린다
그림 7. 두 메모리가 갈라진 구조적 이유. NAND는 층을 얹는 것만으로 셀이 늘어나 리소그래피를 더 미세하게 만들지 않고도 용량을 키울 수 있다. DRAM은 셀마다 커패시터가 필요하고 그 정전용량을 줄일 수 없어서 같은 방식이 안 된다. DRAM도 3D로 가는 방향이 논의되지만 커패시터를 눕히는 셀 구조 자체를 새로 설계해야 하는 문제라, NAND처럼 층만 더 쌓는 식으로는 풀리지 않는다.

셀 구성 요소 — 회사 · 직무 · 읽을 파트

D1

셀 트랜지스터 (매몰 워드라인)

커패시터로 가는 문. 닫혀 있을 때 새는 양이 곧 리프레시 주기를 정하므로, 로직 트랜지스터와 달리 오프 누설을 극단적으로 낮추는 것이 설계 목표다. 워드라인을 기판 안에 묻고 채널을 안장 모양으로 만들어 채널 길이를 확보한다.

직무 소자(SK) · 반도체공정설계(삼성) · 공정기술

공부 13.6 문턱하 영역14.1 단채널 효과15.3 DRAM 셀과 동작

D2

커패시터 · high-k 유전막

정보가 실제로 저장되는 곳. 면적이 줄어도 약 10 fF를 지켜야 해서 종횡비 100:1을 넘는 구멍을 파고 ALD로 유전막을 균일하게 입힌다. 18.12 ALD가 왜 중요한지가 여기서 설명된다 — 깊은 구멍 바닥까지 같은 두께로 입힐 수 있는 방법이 ALD뿐이다.

회사 삼성전자 · SK하이닉스 · Micron · 장비 ASM · TEL · Lam · 전구체 원익머트리얼즈 · SK트리켐

직무 공정기술(박막·식각) · 소재 개발

공부 18.12 ALD18.18 건식 식각8.12 유전·강유전·압전15.3 DRAM 셀과 동작

D3

비트라인 · 센스 앰프

읽기는 커패시터의 전하를 비트라인에 흘려보내 생기는 수십 mV의 전압 변화를 센스 앰프가 증폭하는 방식이다. 전하가 빠져나가므로 읽고 나면 다시 써 넣어야 한다(파괴 읽기).

직무 설계(SK) · 회로설계(삼성) — Analog 설계

공부 15.4 DRAM 어레이와 주변 회로21.5 CMOS 논리 구현14.6 기생 요소와 고주파 특성

N1

채널 홀 · ONO 적층

3D NAND의 전부라 해도 될 공정. 수백 층을 한 번에 뚫고, 그 안쪽 벽에 블로킹 산화막–질화막–터널 산화막–폴리 채널을 순서대로 입힌다. 위아래 지름이 달라지는 것(보잉·테이퍼)이 곧 층별 특성 산포가 된다.

장비 Lam Research(고종횡비 식각 강세) · TEL · Applied Materials · ALD ASM · Lam

직무 공정기술(식각·박막) · 소자 · 수율

공부 18.18 건식 식각18.12 ALD15.9 3D NAND19.3 구조와 형상 분석

N2

전하 트랩 셀 (CTF)

전하를 도체(부유 게이트)가 아니라 절연막 안의 트랩에 가둔다. 한 곳이 새도 전체가 빠지지 않아 층을 얇게 만들 수 있고, 이것이 수직 적층을 가능하게 했다. 대신 전하가 질화막 안에서 옆으로 퍼지는 문제와 반복 쓰기에 따른 열화가 생긴다.

직무 소자 · 신뢰성 · 평가 및 분석

공부 15.6 플래시 메모리의 물리15.9 3D NAND13.4 게이트 유전체의 고전계 효과와 열화5.3 1차원 퍼텐셜(터널링)

N3

계단 컨택 · 주변 회로 배치

층마다 워드라인을 위로 뽑아내려면 플레이트 끝을 계단처럼 깎아야 한다 — 층수가 늘수록 이 계단이 차지하는 면적이 부담이 된다. 주변 회로는 셀 아래로 넣거나(CuA·PUC) 아예 다른 웨이퍼에 만들어 붙인다.

회사 삼성전자 · SK하이닉스 · Micron · Kioxia · 본딩 장비 BESI · EVG · SUSS

직무 공정기술 · 소자 · 패키지(본딩)

공부 15.9 3D NAND9.12 박막에서의 확산과 반응18.28 하이브리드 본딩

N4

셀당 비트 수 · 컨트롤러

한 셀의 문턱 전압을 몇 구간으로 나누느냐가 SLC~QLC를 가른다. 구간이 촘촘해질수록 읽기 오류가 늘어 ECC와 컨트롤러 알고리즘이 셀 물리만큼 중요해진다 — NAND가 소자 회사만의 일이 아니게 된 이유다.

회사 삼성전자 · SK하이닉스(솔리다임) · Micron · Kioxia · 컨트롤러 Phison · Silicon Motion · Marvell

직무 Product Engineering · 설계 · 펌웨어(FTL)

공부 15.10 NAND 성능 기술과 SSD19.9 통계 기초15.6 플래시 메모리의 물리

III

디스플레이 패널

반도체와 공정은 거의 같은데 기판이 웨이퍼가 아니라 유리·폴리이미드 판이라는 점이 모든 것을 바꾼다 — 300 mm 원판이 아니라 2290×2620 mm 사각 판을 다루므로 CMP도 스핀 코팅도 없고, 대신 슬릿 코팅과 대면적 스퍼터링, 그리고 한 판을 여러 번 나눠 노광하는 방식이 쓰인다. 반도체 미세화가 nm의 싸움이라면 디스플레이는 m의 싸움이다.

커버 윈도 (폴더블은 UTG) · OCA 접착 편광판 — 또는 COE(봉지 위 컬러필터)로 대체해 전력 절감 터치 — TFE 위에 금속 메시를 직접 (Y-OCTA · Touch-on-TFE) 무기막 (SiNx · PECVD 또는 ALD Al₂O₃) 유기막 (아크릴레이트 잉크젯 + UV 경화) 무기막 유기막은 배리어가 아니라 입자를 덮고 균열을 끊는 층 캐소드 (Mg:Ag, 반투명) + CPL EIL → ETL → HBL EML — 발광층 (FMM으로 R·G·B를 따로 증착) EBL → HTL → HIL HIL·HTL·EML은 색마다 FMM으로 따로, ETL·EIL·캐소드는 공통 마스크로 EBL·HBL이 엑시톤을 EML에 가둔다 PDL 화소 정의막 + 스페이서 — 발광 면적을 정하고 FMM 접촉을 막는다 애노드 (ITO / Ag / ITO — 상부 발광이라 아래를 반사시킨다) 평탄화막 PLN (감광성 아크릴) · VDD 배선망 소스/드레인 금속 (Ti/Al/Ti) · 데이터 배선 층간 절연막 ILD 게이트 금속 (Mo) · 저장 커패시터 하부 전극 게이트 절연막 GI 활성층 — a-Si를 ELA로 녹여 poly-Si로 (LTPS) 또는 IGZO 스퍼터 (산화물) 버퍼 (SiO₂/SiNx) — PI 아웃가스와 알칼리를 막는다 배리어 (SiNx/SiO₂) 폴리이미드 PI-1 / PI-2 (약 10 µm) — 이것이 최종 기판이 된다 캐리어 유리 — 공정이 끝나면 308 nm 레이저로 떼어낸다 (LLO) ⑤ 모듈 ④ 봉지 ③ OLED ② TFT ① 기판 빛은 위로 (상부 발광)
그림 8. 플렉시블 AMOLED 단면. 공정은 다섯 모듈로 나뉘고 팹의 조직도 대체로 그 단위다. ②까지는 반도체 전공정과 거의 같은 일을 한다 — 증착·포토·식각·어닐. ③부터가 디스플레이 고유 영역이고, ⑤ 모듈은 반도체에 아예 대응하는 조직이 없다. 최종 기판은 유리가 아니라 폴리이미드이며, 유리는 공정 내내 붙들고 있다가 레이저로 떼어내는 임시 캐리어다.
LCD 백라이트 (항상 켜짐) TFT · 액정 = 셔터 컬러필터 (R·G·B) 편광판 빛을 깎아서 색을 만든다 완전한 검정이 안 나온다 RGB AMOLED R G B 화소마다 그 색을 직접 낸다 FMM으로 색별 증착 → 대형화가 어렵다 손실 없음 · 완전한 검정 WOLED 백색 발광 (탠덤, 공통) W 컬러필터로 거른다 필터가 빛의 상당량을 흡수하지만 FMM이 필요 없어 대형화가 쉽다 QD-OLED 청색 발광 (공통) QD→R QD→G B 양자점이 파장을 바꾼다 거르는 것이 아니라 변환이라 색역이 넓고 시야각 색변화가 적다 빛을 어디서 만들고 색을 어떻게 얻는가 — 네 방식의 차이는 여기서 갈린다
그림 9. LCD는 항상 켜진 백라이트를 액정이 가리고 컬러필터가 거르는 빼기 방식이라 검정이 완전히 어두워지지 않는다. OLED는 화소가 스스로 빛을 내므로 끄면 진짜 검정이 된다. 대형 패널에서 RGB 방식을 쓰지 못하는 이유는 FMM(파인 메탈 마스크)이다 — 큰 마스크는 자중으로 처져 정렬이 안 되므로, 대형은 색을 나중에 만드는 WOLED나 QD-OLED로 간다. QD-OLED도 주변광 반사를 막기 위해 실제로는 얇은 컬러필터를 함께 쓴다.

디스플레이 구성 요소 — 회사 · 직무 · 읽을 파트

P1

백플레인 TFT — a-Si · LTPS · IGZO · LTPO

화소를 켜고 끄는 트랜지스터. OLED는 전류로 구동하므로 구동 TFT가 작은 면적에서 실제 전류를 흘려야 하고, 그 이동도를 낼 수 있는 것은 LTPS뿐이다. 반면 대형 패널은 ELA를 큰 판에 돌릴 수 없어 산화물(IGZO)로 간다.

수치 a-Si 0.5~1 · IGZO 5~30 · LTPS 50~150 cm²/V·s. LTPS는 이동도가 높은 대신 결정립계 때문에 누설과 산포가 크고, IGZO는 누설이 극히 낮다.

LTPO 구동 TFT는 LTPS, 게이트 노드를 붙잡는 스위치만 IGZO로 바꾼 하이브리드. 누설이 없으니 정지 화면에서 1 Hz까지 내려도 깜빡이지 않는다 — 소비전력을 위해 마스크를 4~6장 더 쓰는 셈이다.

직무 공정기술 · 소자·재료(LGD) · 공정개발(SDC)

공부 7.15 비결정 고체13.6 문턱하 영역10.8 탄소 나노소재와 2차원 소재18.7 확산 공정

P2

ELA — 엑시머 레이저 어닐

308 nm 엑시머 레이저를 가늘고 긴 선으로 만들어 훑으며 a-Si를 순간적으로 녹였다 굳혀 다결정으로 바꾼다. “저온”의 의미가 여기 있다 — 빛이 실리콘 위 10 nm에서 흡수돼 그 부분만 1400 °C를 넘고, 수백 nm 아래 폴리이미드는 차갑게 남는다.

느리고, 광학계가 열화되며, 펄스 에너지가 흔들리면 그대로 무라(줄무늬 얼룩)로 찍힌다. LTPS가 6세대 이상으로 못 간 이유이고, 8.6세대 IT OLED가 산화물로 간 이유다.

장비 AP시스템(ELA·LLO 국내 선두) · JSW(일본) · Coherent(레이저 소스) · 필옵틱스(레이저 절단·TGV)

직무 공정·장비기술연구(LGD) · 설비개발(SDC)

공부 18.9 급속 열처리8.7 고체 내 상변태3.3 빛의 전파

P3

FMM 증착 — 병목 장비

유기 발광층을 색깔별로 따로 올리려면 인바 합금에 구멍을 뚫은 파인 메탈 마스크를 대고 증착해야 한다. 마스크가 커지면 자중으로 처져 정렬이 무너지므로 이것이 RGB OLED의 크기 한계다.

장비 Canon Tokki(선단 증착기 사실상 독점, 물량을 배분한다) · ULVAC · 국내 야스 · 선익시스템 — 선익시스템이 2026년 5월 LG디스플레이 6세대 R&D 증착기를 수주해 Tokki 독점을 처음 깼다

FMM DNP · Toppan(일본 우위) · 국내 풍원정밀 · APS머티리얼즈

대안 잉크젯 RGB 인쇄(CSOT), 포토 패터닝(비저녹스), 마스크리스 증착(JDI eLEAP) — FMM을 벗어나려는 세 갈래가 동시에 진행 중이다.

직무 공정기술 · 설비개발 · 재료개발

공부 18.10 PVD9.8 박막 핵생성과 성장4.7 분자간 상호작용과 고분자

P4

TFE — 박막 봉지

OLED는 수분과 산소에 극도로 약해 10⁻⁶ g/m²/day 수준의 투습도를 요구한다. 무기막–유기막–무기막을 겹치는데, 유기막의 역할은 배리어가 아니라 입자를 덮고 균열을 끊어 수분이 돌아가는 경로를 길게 만드는 것이다.

장비 무기막 원익IPS · 주성엔지니어링(PECVD·ALD) · 유기막 잉크젯 Kateeva(미국) · 세메스

직무 공정기술 · 재료개발

공부 18.11 CVD18.12 ALD9.11 박막의 응력과 접착8.3 확산

P5

발광 소재

패널사가 아니라 소재사가 성능을 쥐고 있는 영역. 인광 소재의 원천 특허를 한 회사가 쥐고 있고, 청색은 아직 인광이 상용화되지 않아 형광·TADF에 머물러 있다.

회사 UDC(적·녹 인광 도판트 원천 IP — 최대 병목) · Idemitsu Kosan(청색 형광·호스트) · 국내 덕산네오룩스(HTL·HIL·Red Prime — 국산화 성공 사례) · LT소재(호스트) · 솔루스첨단소재

직무 재료개발(SDC) · 소자·재료(LGD)

공부 4.2 화학결합4.7 분자간 상호작용과 고분자17.3 발광 소자5.9 시간 의존 현상

P6

드라이버 IC (DDI)

화소에 넣을 전압을 만드는 칩. 패널사가 아니라 반도체 회사가 만든다 — 디스플레이 회사에는 반도체 회로설계에 대응하는 직무가 사실상 없고, 패널사의 “설계”는 화소 회로와 패널 레이아웃을 뜻한다.

회사 삼성 LSI(모바일 OLED DDI 우위) · LX세미콘(옛 실리콘웍스 — 같은 회사다. LGD 파트너, 대형 OLED DDI 강세) · Novatek(대만) · 매그나칩 · DB하이텍

직무 회로설계 · 구동개발(SDC) · 회로·알고리즘(LGD)

공부 21부 디지털 논리 회로15.2 SRAM14.6 기생 요소와 고주파 특성

IV

공장과 장비

팹 건물을 세로로 자르면 클린룸은 전체의 한 층에 불과하다. 그 위에는 공기를 밀어 내리는 팬 필터 층이, 아래에는 펌프와 가스 캐비닛이 들어찬 서브팹이, 다시 그 아래·옆에는 초순수와 벌크 가스를 만드는 유틸리티동이 있다. 웨이퍼가 지나는 곳보다 웨이퍼가 지나지 않는 곳이 훨씬 크고, 설비기술 직무의 상당 부분이 거기서 일한다.

팬 필터 유닛 (FFU) + ULPA 필터 수직 층류 · 0.3~0.5 m/s 클린룸 (Class 1 급) FOUP OHT 천장 반송 포토 스캐너 · 트랙 식각 RIE · HDP · ALE 박막 CVD · ALD · PVD 확산 · 주입 퍼니스 · RTP · I/I 계측 · 검사 CD-SEM · 오버레이 베이(bay) — 장비가 늘어선 통로 · 챔버 앞은 미니환경(EFEM)으로 다시 한 번 청정도를 올린다 그레이팅 리턴 · 재순환 서브팹 (장비 아래층) 진공 펌프 드라이 · 터보 가스 캐비닛 특수가스 · MFC 약액 공급 CDS · 슬러리 칠러 · 전원반 온도 · RF 전원 배기 배관 국소 배기 가스 · 약액 · 초순수 배기 → 스크러버 중앙 유틸리티동 (CUB) 초순수 (UPW) 18.2 MΩ·cm 벌크 가스 N₂ · O₂ · Ar · H₂ 스크러버 · 폐수 배가스 처리 전력 · 냉각 수전 · 냉동기 웨이퍼가 지나는 층은 하나뿐이다 — 나머지는 전부 그 한 층을 유지하기 위한 설비다
그림 10. 팹 건물의 세로 단면. 클린룸 청정도는 필터로 거른 공기를 위에서 아래로 계속 밀어내려 유지한다 — 입자가 떠다닐 틈을 주지 않는 것이지 공기를 가둬두는 것이 아니다. 서브팹은 진동·소음·발열원을 클린룸 밖으로 빼기 위해 존재하고, 설비기술 직무가 실제로 많은 시간을 보내는 곳이다.
세정RCA · 매엽식 박막 증착CVD · ALD · PVD 포토도포 · 노광 · 현상 식각건식 · 습식 스트립 · 세정레지스트 제거 도핑이온주입 · 어닐 평탄화CMP 계측 · 검사CD · 오버레이 · 결함 APC 피드백 · 오버레이 보정 이 루프를 마스크 수만큼 — 선단 공정은 수십 회 — 웨이퍼 한 장이 팹에 머무는 기간: 2~3개월 계측이 루프 안에 상주하는 이유 — 되돌릴 수 없는 공정이 대부분이라 매 단계 확인해야 한다
그림 11. 웨이퍼가 도는 공정 루프. 팹이 층층이 쌓이는 구조가 아니라 같은 구역을 수십 번 되도는 구조라는 점이 중요하다 — 그래서 장비는 공정별로 모여 있고(베이), 웨이퍼는 OHT로 그 사이를 오간다. 계측 결과가 다음 로트의 노광 조건으로 되먹임되는 것이 19.12의 런투런(R2R) 제어다.

공정 구역별 장비 — 회사 · 직무 · 읽을 파트

A

포토 — 스캐너 · 트랙 · 마스크

회로 패턴을 웨이퍼에 옮기는 구역. 팹에서 가장 비싼 장비가 여기 있고, 공정 순서를 정하는 기준도 마스크 수다. EUV는 ASML 독점이며 현재 양산 장비는 0.33 NA의 NXE:3800E다.

High-NA(0.55 NA, EXE:5200B)는 아직 소수만 갖고 있다. Intel이 2024년부터 힐스보로에 도입해 2025년 12월 첫 양산용 시스템을 배치(14A용), 삼성이 2025년 말과 2026년 상반기에 한 대씩, SK하이닉스가 2025년 9월 DRAM 팹에 한 대, imec이 한 대. 대당 약 3.8억 달러이고 본격 양산 적용은 2027~28년으로 본다. TSMC는 1.4nm(A14)에 High-NA를 쓰지 않기로 했다 — 전략이 갈린 지점이다. (업계 누적 대수를 밝힌 공개 자료는 없다.)

장비 ASML(스캐너·EUV 독점) · Nikon · Canon(i-line·KrF·ArF, Canon은 NIL) · TEL(트랙 압도적) · SCREEN(트랙 2위) · 세메스(삼성 사내) · Photronics · 에스앤에스텍(마스크·블랭크)

직무 공정기술(포토) · 설비기술 · OPC/마스크 엔지니어

공부 3.6 회절과 결상18.14 포토리소그래피 I — 노광18.15 포토리소그래피 II — 레지스트와 트랙18.16 해상도 향상

B

식각 — 건식 · 습식

패턴대로 깎아내는 구역. 3D NAND의 고종횡비 홀과 FinFET 게이트 형상이 여기서 결정된다. 플라즈마를 다루므로 진공·전기·화학이 한꺼번에 필요하다.

장비 Lam Research · TEL · Applied Materials가 합쳐 약 90%. Lam이 고종횡비 유전막 식각(3D NAND·DRAM 커패시터)에 강하고, Hitachi High-Tech가 게이트·도전막 식각. 중국 AMEC 부상, 국내 세메스

국내 PSK드라이 스트립 세계 1위(점유율 약 40%) — 국내 장비사가 세계 1위인 몇 안 되는 영역이고, 삼성·SK하이닉스·마이크론에 공급한다.

직무 공정기술(식각) · 설비기술

공부 18.5 진공과 플라즈마18.18 건식 식각4.6 표면 반응과 촉매

C

박막 — CVD · ALD · PVD · 에피

막을 쌓는 구역. 고종횡비 구조가 늘어나면서 ALD 비중이 계속 커지고 있다. 국내 장비사가 실질적으로 경쟁하는 몇 안 되는 영역이기도 하다.

장비 PVD는 Applied Materials(Endura)가 사실상 독주, CVD는 AMAT · Lam · Kokusai · TEL · ASM, ALD는 ASM International이 선두(high-k·매엽식)

국내 원익IPS는 증착·식각·열처리를 모두 갖춘 유일한 국내 업체(삼성 P4·SK하이닉스 M15X 공급) · 주성엔지니어링(공간분할 ALD) · 유진테크(LPCVD·ALD) — 뒤 둘은 단일 공정 특화

직무 공정기술(박막) · 설비기술 · 소재 개발

공부 18.10~18.12 PVD·CVD·ALD18.13 에피택시9.8 박막 핵생성과 성장9.10 박막의 구조

D

확산 · 열처리 — 퍼니스 · RTP

산화막을 기르고 도펀트를 활성화하는 구역. 온도와 시간이 곧 열예산이고, 뒤 공정의 여유를 여기서 다 써버릴 수 있다.

장비 Applied Materials(RTP·레이저 어닐) · Kokusai Electric(배치 퍼니스) · TEL · Mattson · 국내 유진테크 · 원익IPS

국내 HPSP가 고압 수소 어닐에서 사실상 독점 — 열예산을 늘리지 않고 계면 결함을 잡는 장비라 미세화가 진행될수록 수요가 는다.

직무 공정기술(확산) · 설비기술

공부 18.6 열산화18.7 확산 공정18.9 급속 열처리8.3 확산

E

이온주입

도펀트를 이온으로 쏘아 박는 구역. 가속기와 질량 분석기가 들어간 장비라 물리 색채가 가장 짙다. 얕은 접합을 만들수록 저에너지·고전류가 어려워진다.

장비 Applied Materials · Axcelis · SMIT(Sumitomo)

직무 공정기술(임플란트) · 설비기술

공부 18.8 이온주입14.3 채널 프로파일 설계8.1 결정 결함

F

세정

공정 사이마다 들어가는, 팹에서 가장 자주 도는 단계. 입자·금속·자연산화막을 제거하고 표면을 다음 공정이 받아들일 상태로 만든다. 패턴이 미세해지면서 건조 중 무너짐이 큰 문제가 됐다.

장비 SCREEN(매엽식 1위) · TEL · 국내 세메스 · 케이씨텍 · 제우스

직무 공정기술(세정) · 설비기술 · 화학소재

공부 18.4 세정과 게터링9.2 표면 장력과 젖음18.2 클린룸과 오염 제어

G

CMP (화학기계적 연마)

표면을 평탄하게 갈아내는 구역. 노광의 초점 심도가 얕아 표면이 울퉁불퉁하면 아예 패턴을 못 찍는다. 다마신 배선은 CMP 없이는 성립하지 않는다.

장비 Applied Materials · Ebara 양강 · 국내 케이씨텍CMP 장비와 슬러리를 둘 다 만드는 유일한 국내 업체로 삼성·SK하이닉스에 공급 · 슬러리 Cabot · 솔브레인 · 동진쎄미켐

직무 공정기술(CMP) · 설비기술 · 소재 개발

공부 18.19 CMP와 평탄화18.22 금속 배선8.8 기계적 성질

H

계측 · 검사

공정 사이사이에 상주하며 두께·선폭·오버레이·결함을 잰다. 공정을 되돌릴 수 없기 때문에 매 단계 확인이 필요하고, 그 데이터가 수율 분석과 APC 제어의 입력이 된다.

장비 KLA가 공정 제어 전체의 약 63%(2024년, 2010년 50%에서 상승 / 같은 기간 AMAT은 13%→8% 미만) · Hitachi High-Tech(CD-SEM 우위) · ASML(YieldStar 오버레이) · Onto Innovation · Nova(박막·OCD) · e-beam 검사는 AMAT · ASML/HMI

국내 파크시스템스산업용 AFM 세계 1위 · 넥스틴이 다크필드 패턴 웨이퍼 검사

직무 계측·분석 · 수율(YE) · 공정기술

공부 19.1~19.6 계측19.8 장비 상태 계측19.10 수율 모델링

I

반송 · 자동화 · MES

FOUP에 담긴 웨이퍼를 OHT로 장비 사이에 나르고, 어떤 로트를 어느 장비에 넣을지 정하는 소프트웨어 층. 팹의 생산성은 장비 성능만큼이나 여기서 갈린다.

회사 Daifuku(1위) · Murata Machinery(2위) · 국내 SFA · MES·APC 솔루션 · 사내 IT

직무 자동화 · 산업공학 · 데이터 엔지니어 · 설비기술

공부 18.2 클린룸과 오염 제어19.13 고급 공정 제어와 진단19.11 통계적 공정 관리

J

유틸리티 · 가스 · 약액

초순수, 벌크·특수 가스, 슬러리, 배가스 처리. 팹 밖에서는 잘 안 보이지만 멈추면 팹 전체가 멈춘다. 소재 국산화 논의가 집중되는 영역이기도 하다.

회사 Linde · Air Liquide · 원익머트리얼즈 · SK머티리얼즈 · 약액 동진쎄미켐 · 솔브레인 · 이엔에프

메모 삼성은 이 영역을 인프라기술, SK하이닉스는 Utility기술이라는 별도 직무로 뽑는다 — 공정 장비를 보는 설비기술과는 다른 자리다.

직무 설비기술(유틸리티) · 안전환경 · 소재 개발

공부 18.2 클린룸과 오염 제어3.8 유체와 수송현상4.4 화학 열역학과 평형

K

테스트 · 후공정

웨이퍼 상태로 한 번(EDS), 패키징 후 다시 한 번(FT) 걸러낸다. 그 사이에 백그라인딩·다이싱·본딩·몰딩이 들어간다. HBM 때문에 본딩 장비가 전면에 나선 영역.

장비 테스터는 Advantest(약 50%)와 Teradyne(약 30%) 양강이고 Advantest가 메모리·HBM 테스트에서 더 강하다 · Disco(다이싱·그라인딩) · 프로브카드 FormFactor, 국내 티에스이 · 핸들러 국내 테크윙 · 번인·검사 유니테스트 · 엑시콘 · 네오셈

국내 HBM TC 본더는 한미반도체(71.2%) · 세메스(13.1%) · 한화세미텍(3.2%)후공정 장비는 국내 업체가 세계 상위인 영역이다.

직무 테스트 엔지니어 · 패키지 공정기술 · 설비기술 · 품질

공부 18.29 패키지 소재와 최종 테스트19.14 신뢰성15.12 고대역폭 메모리

V

직무 지도

앞의 그림들에 나온 요소를 실제 채용 직무명먼저 읽을 파트에 연결하는 표다. 직무명은 회사 공식 채용 사이트 기준(2026년 상·하반기 공고)이며, 직무 카테고리는 매 사이클 바뀌므로 지원 시점의 공고를 확인해야 한다.

삼성전자 DS부문 — 조직 × 직무

같은 직무명이 여러 조직에 걸쳐 쓰인다. “반도체공정기술”은 메모리·파운드리·TSP총괄·반도체연구소에 모두 있고, 조직에 따라 전공정·후공정·연구로 갈린다.

조직직무
메모리사업부회로설계 · 평가 및 분석 · 반도체공정설계 · 반도체공정기술 · 설비기술 · 패키지개발 · 기구개발 · S/W개발 · 영업마케팅 · 생산관리
Foundry사업부회로설계 · 평가 및 분석 · 반도체공정설계 · 반도체공정기술 · 설비기술 · 패키지개발 · 영업마케팅 · 생산관리
S.LSI사업부회로설계 · 평가 및 분석 · 반도체공정설계 · 신호 및 시스템 설계 · S/W개발 · 영업마케팅 · 생산관리
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SK하이닉스 — 그룹별 직무

그룹직무
Tech R&D설계 · 소자 · R&D 공정 · Product Engineering · Application Engineering · PKG 개발 · System Arch./SW Solution · 개발Test&Infra
제조양산기술 · 양산기술(P&T) · 기반기술 · 양산관리
건설/플랜트Utility기술 — 공조/배기·배관 / Gas·Chemical·수처리 / 전기·제어 / 건축·BIM
안전보건SHE(안전) · SHE(보건) · SHE(환경/화학물질관리) · SHE(P&S기술)
직무세부 업무 (공식 직무소개)
소자Process Integration · Device · Failure Analysis · Layout Design Rule · Reliability · TCAD Simulation · Modeling
R&D 공정공정기반기술 · Photo/Etch/Diffusion/ThinFilm/C&C 공정 · Mask기술 · AT · MI · PMA
양산기술전공정. 단위공정기술 · 소재기술 · 장비개발 · M&T기술혁신 · Defect Engineering
양산기술(P&T)후공정. PKG & Module기술 · 소자부품/소재기술 · 공정기술 · 장비기술 · WLP 공정·설비기술
기반기술계측 · 분석 · Mask · 소재 · 장비 — 단위공정에 매이지 않고 팹 전체를 횡단 지원
Product EngineeringTest Engineering · Test특성분석 · Product Verification

업계 통칭과 공식 직무명의 대조

통칭으로 알고 있는 이름이 공고에 그대로 있는 경우는 드물다. 아래는 명칭 대응만 정리한 것이다.

통칭삼성전자 DSSK하이닉스
단위공정 (Photo·Etch·Diffusion·Thin Film 등)반도체공정기술양산기술 — 단위공정기술 / R&D 공정
공정 통합(PI) · 소자 · TCAD반도체공정설계소자
장비 (PM·BM·셋업·개조)설비기술양산기술 — 장비개발
계측·분석·불량 분석평가 및 분석기반기술
후공정 · 패키지TSP총괄 × 반도체공정기술/설비기술 · 패키지개발PKG 개발 · 양산기술(P&T)
테스트TSP총괄Product Engineering
팹 유틸리티 (초순수·가스·HVAC·전력)인프라기술Utility기술

주의할 명칭 세 가지 — ① 삼성 공식 직무에 “소자”는 없다. 소자·TCAD·Process Integration은 반도체공정설계에 포함되고, 그 직무기술서가 “최적의 소자/Layout/Mask를 개발”, 우대사항에 “Transistor 관련 분석 유경험자”를 명시한다. ② 통칭 “PIE”는 단위공정 담당(삼성 반도체공정기술 / SK 양산기술–단위공정기술)을 가리키는 경우가 많아 Process Integration과 다르다. ③ “테스트&패키지(TP)”는 현재 공식 채용 명칭이 아니며 TSP총괄로 바뀌었다. — SK하이닉스는 2026년 6월 수시채용에서 “4년제 학사 이상” 자격을 삭제했으나 같은 해 3월 공채에는 남아 있었다(공고별 확인 필요).

장비사·파운드리는 직무 축이 다르다

세메스·원익IPS 같은 장비사는 8대 공정이 아니라 장비를 만드는 기능으로 직무를 나눈다 — 기구설계 · 제어설계 · 하드웨어 · S/W · Simulation · 공정개발 · 플라즈마. DB하이텍처럼 아날로그·전력반도체를 하는 파운드리에는 소자/공정개발 · Foundry Tech Enabling · PDK개발처럼 고객 대응 축의 직무가 따로 있다.

직무별로 먼저 읽을 파트

반도체공정기술 · 양산기술(단위공정)

삼성 반도체공정기술 / SK 양산기술–단위공정기술

Photo·Etch·Clean·CMP·Diffusion·IMP·Metal·CVD 중 한 공정을 맡아 조건을 잡고 산포를 줄이고 불량 원인을 찾는다. 책임 대상은 웨이퍼 위의 결과물(막 두께·CD·프로파일·균일도)이다.

어디를 그림 10·11의 장비 구역

18부 전체19.11 통계적 공정 관리19.12 실험 계획과 공정 모델링8.3 확산

반도체공정설계 · 소자

삼성 반도체공정설계 / SK 소자 (PI · Device · TCAD · Reliability)

소자 구조와 전체 공정 플로우를 설계하고 목표 특성이 나오도록 조건을 역산한다. TCAD가 실무 도구로 쓰인다.

어디를 그림 2의 FEOL, 그림 1의 다이(10)

11~14부20부 TCAD14.3 채널 프로파일 설계14.10 컴팩트 모델과 회로 시뮬레이션

설비기술 · 장비개발

삼성 설비기술 / SK 양산기술–장비개발

챔버 상태·진공·RF 전원·가스 유량·파티클을 보고 PM/BM과 개조를 한다. 책임 대상은 장비 그 자체이며, 온도·압력·플라즈마·Gas Flow 하드웨어 제어와 설비 센서 데이터 기반 자동화가 공식 업무에 포함된다.

어디를 그림 10의 장비 · 서브팹

18.5 진공과 플라즈마19.8 장비 상태 계측3.8 유체와 수송현상3.7 열전달

평가 및 분석 · 기반기술

삼성 평가 및 분석 / SK 기반기술 (계측·분석·소재·Mask)

불량을 사전에 잡아내고 원인을 규명한다. 삼성 직무기술서에 “통계적 추론, 통계 모델링, 실험계획법(DOE)”이 명시돼 있다.

어디를 그림 11의 계측·검사

19.1~19.6 계측19.9 통계 기초19.10 수율 모델링9.13 표면 분석

패키지개발 · 양산기술(P&T)

삼성 패키지개발 / SK PKG 개발 · 양산기술(P&T)

HBM 패키지 구조·소재·공정을 설계한다. 삼성 우대사항에 ABAQUS·ANSYS가 적혀 있다.

어디를 그림 1의 (3)~(9), (13)(14)

18.27 2.xD·3D 집적15.12 고대역폭 메모리9.11 박막의 응력과 접착3.7 열전달

회로설계 · 설계

삼성 회로설계 / SK 설계 (Analog · Digital · 배치설계 · Verification)

메모리 컨트롤러·PHY·센스 앰프 같은 블록을 설계한다.

어디를 그림 1의 (11)(12)

21부 디지털 논리 회로14.6 기생 요소와 고주파 특성14.10 컴팩트 모델과 회로 시뮬레이션

Product Engineering · 테스트

SK Product Engineering / 삼성 TSP총괄

무엇을 어떤 순서로 측정해 불량을 걸러낼지 설계한다. SK 공식 전공에 통계·산업공학이 포함된다.

어디를 그림 11 이후 — EDS와 최종 테스트

18.24 웨이퍼 테스트와 다이 준비19.5 저항과 도핑 계측19.14 신뢰성

인프라기술 · Utility기술

삼성 인프라기술 / SK Utility기술

초순수·특수가스·화학물질·HVAC·전력을 공급한다. 설비기술이 공정 장비를 보는 것과 달리 팹 건물과 유틸리티를 본다.

어디를 그림 10의 서브팹 · 중앙 유틸리티동

18.2 클린룸과 오염 제어3.8 유체와 수송현상4.4 화학 열역학과 평형

양산관리 · 생산관리

SK 양산관리 / 삼성 생산관리

생산 진도와 지표를 관리하고 자동화·현장 개선을 한다. 공식 전공에 산업공학·컴퓨터·통계가 포함된다.

어디를 그림 11 전체 · 그림 10의 OHT/MES

19.11 통계적 공정 관리19.13 고급 공정 제어와 진단23.1 산업 구조

디스플레이 — 반도체에 대응 조직이 없는 직무

공정기술 / 설비기술 / 개발 / 품질의 4분할은 반도체와 거의 같다. 다른 점은 모듈개발 · 광학 · 기구 · 구동개발 · 재료개발이 따로 있다는 것이고, 반대로 회로설계 직무는 거의 없다 — DDI는 삼성 LSI·LX세미콘 같은 반도체 회사가 만들고, 패널사의 “설계”는 화소 회로와 패널 레이아웃을 뜻한다.

공정기술 · 공정개발

SDC 공정개발·공정기술·YE / LGD 공정개발·종합공정

백플레인과 OLED 공정의 조건을 잡고 수율을 올린다. 그림 8의 ②TFT 모듈은 반도체 전공정과 거의 같고, ③OLED부터가 디스플레이 고유 영역이다.

어디를 그림 8의 ①~④ 모듈

18부 전체7.15 비결정 고체19.11 통계적 공정 관리

재료개발 · 소자재료

SDC 재료개발·분석기술 / LGD 소자·재료

OLED 발광 소재와 QD를 개발하고 소자 신뢰성을 본다. 화학·화공 전공의 비중이 큰 트랙이다.

어디를 그림 8의 ③ OLED 모듈

4.2 화학결합4.7 분자간 상호작용과 고분자17.3 발광 소자

모듈개발 · 광학 · 기구

SDC 모듈개발·CAE / LGD 광학·기구

폴더블 적층 구조, 광학 설계, 내구성을 다룬다. 무라·색변화·번인 같은 화질 항목이 업무 대상이 된다.

어디를 그림 8의 ⑤ 모듈

3.4 기하광학3.5 간섭과 편광8.8 기계적 성질

두 회사 모두 대부분의 엔지니어 직무 우대사항에 통계·데이터 분석(Python · R · DOE · 머신러닝)이 들어간다. 백과에서 그 자리를 맡는 장은 1.11 확률과 통계19.9 통계 기초19.11 통계적 공정 관리19.12 실험 계획과 공정 모델링이다.

이 페이지의 쓰임

백과보다 먼저 읽는 페이지다. 282개 장 목차를 처음 보면 어디부터 손대야 할지 알 수 없다. 이 지도는 “내가 가고 싶은 자리가 그림의 어디이고, 그러려면 어느 파트를 읽어야 하는가”를 한 화면에서 판단하게 하는 것이 목적이다. /map 또는 사이트 첫 화면에 놓는다.

구조는 오래 가고, 숫자는 빨리 바뀐다. 인터포저가 왜 필요한지, 팹이 왜 층으로 나뉘는지, 계측이 왜 루프 안에 있는지는 몇 년 단위로 안정적이다. 반면 세대·점유율·협력 관계·채용 직무명은 분기 단위로 바뀐다. 이 페이지의 숫자는 2026년 8월 조사 기준이고 대부분 시점을 괄호로 달아 두었다 — 갱신 주기를 반기로 잡고, 갱신할 때 이 문단의 날짜도 함께 고칠 것.

특히 빨리 낡을 항목은 HBM 세대별 양산 현황, HBM 점유율, High-NA 보유 대수, CoWoS 생산능력, TC 본더 점유율, 그리고 채용 직무명이다. 직무는 회사가 조직 개편을 하면 그날로 바뀌므로 지원 시점의 공고가 항상 우선한다.

주요 출처. 패키징·장비는 TrendForce · TSMC 3DFabric · 삼성 파운드리 공식 페이지 · Tom's Hardware(Hot Chips 2026, EMIB-T) · EE Times(CES 2026) · TechInsights(TC 본더) · Counterpoint(HBM 점유율). 직무는 삼성전자 DS 채용 사이트 직무소개SK하이닉스 Talent Hub 직무소개 · 2026 공채 공고를 1차 자료로 썼다.

회사 목록은 “그 영역을 하는 곳”이다. 점유율을 적은 곳은 출처와 시점을 함께 달았고, 확인하지 못한 순위는 적지 않았다. 산업 구조 자체는 23부(반도체 산업)와 /references/papers의 몫이다.

다음에 채울 것. 그림 2의 로직 다이를 FinFET·나노시트 단면으로 한 단계 더 확대하면 14.8로 들어가는 입구가 생긴다. 전력 반도체(슈퍼정션·SiC MOSFET·GaN HEMT) 단면과 이미지 센서(BSI·적층형 CIS) 단면도 같은 방식으로 만들 수 있다.