19부 · 계측·수율·공정 제어
IV 공정과 구현 · 14개 장
- 19.1계측 개요7절
- 19.2두께와 광학 계측7절
- 19.3구조와 형상 분석7절
- 19.4조성 분석9절
- 19.5저항과 도핑 계측8절
- 19.6소자 파라미터와 결함 계측8절
- 19.7결함 검사6절
- 19.8장비 상태 계측6절
- 19.9통계 기초7절
- 19.10수율 모델링9절
- 19.11통계적 공정 관리11절
- 19.12실험 계획과 공정 모델링12절
- 19.13고급 공정 제어와 진단9절
- 19.14신뢰성7절
기준 교재 — Schroder, Semiconductor Material and Device Characterization 3e · May·Spanos, Fundamentals of Semiconductor Manufacturing and Process Control · Montgomery, Introduction to Statistical Quality Control 8e · Skoog·Holler·Crouch, Principles of Instrumental Analysis 7e