웨이퍼 제조

이 장은 아직 집필 전이다. 절 구성만 잡혀 있다.

실리콘 정제(MGS→EGS)

초크랄스키 성장과 편석 계수

유효 편석 계수

FZ 성장

Bridgman과 화합물 반도체 성장

웨이퍼 가공과 규격

결정 결함과 점결함 거동

산소·탄소의 영향

SOI 웨이퍼 제조(SIMOX·본딩·스마트컷)

기판 엔지니어링(변형 실리콘·혼합 배향)