확산 공정

이 장은 아직 집필 전이다. 절 구성만 잡혀 있다.

픽의 법칙과 해석해(한정·무한 소스)

고용도와 도펀트 용해 한계

확산의 원자 수준 기구(격자간·공공)

진성 확산 계수

전계 효과

농도 의존 확산도

산화 증속·지연 확산(OED·ORD)

편석과 계면 도펀트 축적

측면 확산

연속 확산의 합성

확산층 설계와 평가