MEMS의 역학과 모델링

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MEMS 역학의 기초 — 탄성과 구조

박막 응력과 잔류 응력

에너지 방법과 대변형

럼프드 모델링과 켤레 변수

에너지 보존 변환기와 정전 액추에이터

풀인 불안정과 동역학

소산과 열 영역 모델

스퀴즈 필름 감쇠와 유체 효과

기계-전기 변환과 등가 회로