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18부 반도체 공정 18.14

포토리소그래피 I — 노광

이 장은 아직 집필 전이다. 절 구성만 잡혀 있다.

노광 시스템의 구성

섹션 제목: “노광 시스템의 구성”

회절과 변조 전달 함수

섹션 제목: “회절과 변조 전달 함수”

해상도와 초점 심도

섹션 제목: “해상도와 초점 심도”

개구수와 k₁

섹션 제목: “개구수와 k₁”

광원의 진화(g-line~EUV)

섹션 제목: “광원의 진화(g-line~EUV)”

액침 노광

섹션 제목: “액침 노광”

조명계 설계와 축외 조명

섹션 제목: “조명계 설계와 축외 조명”

마스크와 레티클 제작

섹션 제목: “마스크와 레티클 제작”

정렬과 오버레이

섹션 제목: “정렬과 오버레이”

스캐너 생산성

섹션 제목: “스캐너 생산성”