건식 식각

이 장은 아직 집필 전이다. 절 구성만 잡혀 있다.

식각 파라미터(식각률·선택비·바이어스·균일도)

식각 기구(화학적·물리적·이온 보조)

반응성 이온 식각

식각 장치의 유형(배럴·평행판·RIE·HDP·이온 밀링)

프로파일 제어와 측벽 보호막

마스크 침식·트렌칭과 로딩 효과

차징 손상과 잔류물

고종횡비 식각

막종별 식각 공정(유전막·실리콘·금속)

원자층 식각(ALE)

종말점 검출

프로파일 시뮬레이션