금속 배선

이 장은 아직 집필 전이다. 절 구성만 잡혀 있다.

Al 배선의 한계와 Cu 전환

다마신과 듀얼 다마신

배리어·라이너와 전해도금

low-k 유전체와 에어갭

RC 지연과 배선 스케일링

일렉트로마이그레이션

다층 배선 구조와 평탄화

패시베이션과 본딩 패드