박막 증착 I — PVD

이 장은 아직 집필 전이다. 절 구성만 잡혀 있다.

상평형과 승화·증발

증착 속도와 단차 피복성

도가니 가열 방식

스퍼터링의 물리와 스퍼터 수율

마그네트론과 이온화 PVD

박막 형태와 조닝 모델

증착막의 응력

전처리와 탈가스

배리어·시드층