클린룸과 오염 제어

이 장은 아직 집필 전이다. 절 구성만 잡혀 있다.

클린룸 등급과 기류 설계

오염원의 분류(입자·금속·유기물·자연산화막)

입자와 수율의 관계

클린룸 출입 절차와 작업 규범

웨이퍼 반송과 자동화(FOUP·AMHS)

팹 유틸리티(초순수·벌크 및 특수 가스·배기와 저감)

공정 화학물질의 분류와 취급 안전