진공과 플라즈마

이 장은 아직 집필 전이다. 절 구성만 잡혀 있다.

유량과 컨덕턴스

진공 영역과 펌프의 종류

진공 실과 압력 측정

잔류 가스 분석

DC 글로 방전과 쉬스

RF 방전과 자기 바이어스

플라즈마 내 충돌 과정(이온화·여기·해리)

이온 에너지 분포

고밀도 플라즈마(ICP·ECR)

원격 플라즈마 공정

플라즈마 진단 (장비 상태 감시로서의 진단은 19.8)