조성 분석

이 장은 아직 집필 전이다. 절 구성만 잡혀 있다.

SIMS 깊이 프로파일

오제 전자 분광(AES)

EDS·WDS와 전자 마이크로프로브

XPS 화학 결합 상태

RBS

X선 형광(XRF·TXRF)

라만과 광루미네선스

FTIR와 산소·탄소 정량

미량 불순물 분석(ICP-MS·중성자 방사화) (XPS·AES·SIMS의 표면물리적 원리는 9.13)