MEMS 공정과 센서 소자

이 장은 아직 집필 전이다. 절 구성만 잡혀 있다.

벌크 마이크로머시닝

표면 마이크로머시닝과 희생층

LIGA와 고종횡비 공정(HARMST)

MEMS 액추에이터

압력 센서와 압저항

관성 센서 — 가속도계와 자이로스코프

열·자기 센서

화학 센서와 바이오 센서

CMOS-MEMS 이종 집적 (패키지 조립은 18.25)