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9부 표면·계면과 박막 9.9

에피택시의 물리

이 장은 아직 집필 전이다. 절 구성만 잡혀 있다.

에피택시의 발현 형태

섹션 제목: “에피택시의 발현 형태”

격자 부정합과 정합 변형

섹션 제목: “격자 부정합과 정합 변형”

임계 두께와 부정합 전위

섹션 제목: “임계 두께와 부정합 전위”

화합물 반도체 에피택시

섹션 제목: “화합물 반도체 에피택시”

표면 재구성과 성장 기구

섹션 제목: “표면 재구성과 성장 기구”

BCF 이론과 스텝 흐름 성장 (에피택시 공정과 장비는 18.13)

섹션 제목: “BCF 이론과 스텝 흐름 성장 (에피택시 공정과 장비는 18.13)”