계측 개요

이 장은 아직 집필 전이다. 절 구성만 잡혀 있다.

공정 흐름에서의 주요 계측 지점

웨이퍼 상태 계측과 장비 상태 계측의 구분

인라인과 오프라인

정밀도와 정확도

신호와 잡음, 검출 한계

계측 불확도와 게이지 R&R

샘플링 전략