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20부 TCAD 시뮬레이션 20.5

공정 시뮬레이션

이 장은 아직 집필 전이다. 절 구성만 잡혀 있다.

주입 모델(해석적 분포·몬테카를로)

섹션 제목: “주입 모델(해석적 분포·몬테카를로)”

확산 모델(점결함 기반·TED)

섹션 제목: “확산 모델(점결함 기반·TED)”

산화·증착·식각 모델

섹션 제목: “산화·증착·식각 모델”

마스크 정의와 2D 구조

섹션 제목: “마스크 정의와 2D 구조”

단계별 구조 저장

섹션 제목: “단계별 구조 저장”

0.18 µm CMOS 플로우 구현

섹션 제목: “0.18 µm CMOS 플로우 구현”

결과 검증

섹션 제목: “결과 검증”