이온주입

이 장은 아직 집필 전이다. 절 구성만 잡혀 있다.

주입 장비의 구성

핵 저지와 전자 저지

LSS 이론과 사정 거리 통계

채널링과 틸트·스크린 산화막

마스킹과 다중 주입

격자 손상과 비정질화

고상 에피택시 재성장

“+1” 모델과 과도 증속 확산(TED)

도펀트 활성화

얕은 접합 형성

웨이퍼 차징과 주입 오염 관리