급속 열처리

이 장은 아직 집필 전이다. 절 구성만 잡혀 있다.

열예산의 개념

회색체 복사와 열교환

고강도 광원과 챔버 설계

온도 측정과 파이로메트리

열탄성 응력과 슬립

스파이크·플래시·레이저 어닐

유전체의 RTP와 급속 열 CVD

실리사이드 형성과 컨택

합금 어닐과 리플로우