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19부 계측·수율·공정 제어 19.13

고급 공정 제어와 진단

이 장은 아직 집필 전이다. 절 구성만 잡혀 있다.

피드백 제어의 필요성

섹션 제목: “피드백 제어의 필요성”

런투런(R2R) 제어

섹션 제목: “런투런(R2R) 제어”

EWMA 컨트롤러와 예측-보정 제어

섹션 제목: “EWMA 컨트롤러와 예측-보정 제어”

입력 한계와 가중치 설정

섹션 제목: “입력 한계와 가중치 설정”

피드포워드 제어

섹션 제목: “피드포워드 제어”

EPC와 SPC의 결합

섹션 제목: “EPC와 SPC의 결합”

감독 제어와 자동 레시피 생성

섹션 제목: “감독 제어와 자동 레시피 생성”

장비·공정 고장 진단

섹션 제목: “장비·공정 고장 진단”

불량 분석(FA) 흐름

섹션 제목: “불량 분석(FA) 흐름”