저항과 도핑 계측

이 장은 아직 집필 전이다. 절 구성만 잡혀 있다.

4점 탐침과 면저항

비접촉 저항 측정과 웨이퍼 매핑

저항률 프로파일링(스프레딩 저항·차동 홀)

C–V 도핑 프로파일

홀 측정과 캐리어 농도

TLM과 접촉 저항

쇼트키 장벽 높이 추출

전기적 선폭 측정