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18부 반도체 공정 18.27

2.xD·3D 집적

이 장은 아직 집필 전이다. 절 구성만 잡혀 있다.

집적 형태의 분류 — 2D·2.1D·2.3D·2.5D·3D

섹션 제목: “집적 형태의 분류 — 2D·2.1D·2.3D·2.5D·3D”

TSV 형성과 비아 미들·비아 라스트

섹션 제목: “TSV 형성과 비아 미들·비아 라스트”

워피지와 열 경로 (열전달은 3.7)

섹션 제목: “워피지와 열 경로 (열전달은 3.7)”