20부 · TCAD 시뮬레이션

IV 공정과 구현 · 9개 장

1. 20.1TCAD 개요4절
2. 20.2Sentaurus 툴 체인7절
3. 20.3수치 해석 기반9절
4. 20.4메싱6절
5. 20.5공정 시뮬레이션7절
6. 20.6소자 시뮬레이션9절
7. 20.7양자 수송 시뮬레이션8절
8. 20.8파라메트릭 스윕과 캘리브레이션5절
9. 20.9트러블슈팅 기록5절

기준 교재 — Selberherr, Analysis and Simulation of Semiconductor Devices · Plummer·Deal·Griffin, Silicon VLSI Technology · 직접 수행한 시뮬레이션 기록 · Vasileska·Goodnick·Klimeck, Computational Electronics